Uru ebumnuche nke iru mmiri dị n'ime ụlọ semiconductor (FAB) dị ọcha

Ebumnuche ebumnuche nke iru mmiri dị n'ime ụlọ semiconductor (FAB) dị ọcha bụ ihe dịka 30 ruo 50%, na-enye ohere mperi mperi nke ± 1% njehie dị ka mpaghara lithography - ma ọ bụ ọbụlagodi na nhazi ultraviolet dị anya (DUV) mpaghara - ebe ndị ọzọ ọ nwere ike ịdị jụụ ruo ± 5%.
N'ihi na iru mmiri nwere ọtụtụ ihe nwere ike ibelata arụmọrụ ụlọ dị ọcha, gụnyere:
1. Ọrịa nje bacteria;
2. Ụlọ nkasi obi okpomọkụ maka ndị ọrụ;
3. Electrostatic ụgwọ pụtara;
4. Ọkpụkpọ ígwè;
5. Mmiri vepo condensation;
6. Mmebi nke lithography;
7. Mmiri absorption.

Bacteria na ihe ndị ọzọ na-emetọ ihe ndị dị ndụ (ebu, nje, fungi, àjà) nwere ike ime nke ọma na gburugburu ebe obibi nwere iru mmiri karịa 60%.Ụfọdụ obodo nje nwere ike itolite na iru mmiri karịa 30%.Ụlọ ọrụ ahụ kwenyere na iru mmiri kwesịrị ịchịkwa 40% ruo 60%, nke nwere ike ibelata mmetụta nke nje bacteria na ọrịa iku ume.

Iru mmiri dị n'etiti 40% ruo 60% bụkwa oke oke maka nkasi obi mmadụ.Oke iru mmiri nwere ike ime ka ndị mmadụ nwee nkụchi, ebe iru mmiri dị n'okpuru 30% nwere ike ime ka ndị mmadụ nwee nkụ, akpụkpọ ahụ gbawara agbawa, ahụ erughị ala iku ume na enweghị obi ụtọ.

Igwe iru mmiri dị elu na-ebelata n'ezie mkpokọta nke ụgwọ electrostatic n'elu ụlọ dị ọcha - nsonaazụ achọrọ.Obere iru mmiri dị mma maka mkpokọta chaja yana isi iyi nke mwepu ọkụ eletrik nwere ike imebi.Mgbe iru mmiri dị n'akụkụ karịrị 50%, ụgwọ electrostatic na-amalite ịgbasa ngwa ngwa, mana mgbe iru mmiri dị ihe na-erughị 30%, ha nwere ike ịdịgide ruo ogologo oge na mkpuchi mkpuchi ma ọ bụ n'elu ala.

Enwere ike iji iru iru mmiri dị n'etiti 35% na 40% mee ihe dị ka nkwekọrịta na-eju afọ, ụlọ semiconductor dị ọcha na-ejikarị njikwa ndị ọzọ na-amachi mkpokọta nke ụgwọ electrostatic.

Ọsọ nke ọtụtụ mmeghachi omume kemịkalụ, gụnyere usoro corrosion, ga-abawanye na mmụba nke iru mmiri.Ihe niile ekpughere na ikuku gburugburu ụlọ dị ọcha na-adị ngwa.